根据我们调研收集到的显微镜冷热台的需求､我了解到需要对真空和气氛进行精密控制｡
我们的解决方案采用了电动针阀快速调节进气和排气流量的动态平衡法实现0.1~1000Torr范围的真空压力精密控制､采用了气体质量流量计实现多路气体混合气氛的精密控制｡
此解决方案还具有很强的可拓展性､可用于电阻丝加热､TEC半导体加热制冷和液氮介质的高低温温度控制､也可以拓展到超高真空度的精密控制应用｡
冷热台允许同时进行样品的温控和透射光/反射光观察､支持腔内样品移动､气密/真空腔､红外/紫外/X光等波段观察､腔内电接线柱､温控联动拍摄､垂直/水平光路､倒置显微镜等｡
广泛应用于显微镜､倒置显微镜､红外光谱仪､拉曼仪､X射线等仪器､适用于高分子/液晶､材料､光谱学､生物､医药､地质､食品､冷冻干燥､ X光衍射等领域｡
在上述这些材料结构､组织以及工艺过程等的微观测量和研究中､普遍需要给样品提供所需的温度､真空､压力､气氛､湿度和光照等复杂环境､而现有的各种显微镜冷热台往往只能提供所需的温度变化控制､尽管冷热台可以提供很好的密闭性､但还是缺乏对真空､压力､气氛和湿度的调节及控制能力､国内外还未曾见到相应的配套控制装置｡
