探针台工作原理￤精细的结构设计和控制系统

探针台的工作原理是通过其精细的结构设计和控制系统､实现对样品的准确测量和分析｡

1､定位￤通过样品台精确定位待测 物（晶圆､芯片等）･

2､视觉辅助￤利用光学元件放大观察， 确保探针精确对准测量点･

3､固定待测物￤使用卡盘固定晶圆或芯片， 可能采用夹具或真空吸附･

4､探针控制￤通过电磁或压电装置精确控制 探针在样品表面的移动和定位･

5､信号采集￤内置传感器实时记录探针与 样品相互作用产生的信号･

6､数据处理￤对采集的信号进行处理，分析 得到样品的形貌和性能信息･

7､自动化测试￤手动､半自动或全自动探 针台系统完成测试流程･