探针台设备使用方法￤
以手动探针台为例､探针台的使用方法如下￤
1、将样品载入真空卡盘､打开真空阀控制开关､使样品安全牢固地吸附在卡盘上；
2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台､在显微镜低倍物镜的焦点下清楚地看到样品；
3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台､将样品放置测试点移至显微镜下；
4.显微镜切换为高倍率物镜､在高倍率下找到待测点､然后微调显微镜聚焦和样品x-y､将图像调整清晰､等待测点位于显微镜视场中心；
5.确认测点位置后､调整探针座位置｡安装探针后､可以将探针移到接近待测点的位置､然后使用探针座X-Y-Z的三个微调旋钮慢慢地将探针移动到被测点。这时候要小心､慢慢移动､防止芯片误伤｡当探针针的尖端悬挂在被测点上方时､探针可以先用Y轴旋钮稍微后退一点､然后用Z轴旋钮下针｡最后用X轴旋钮左右滑动､观察是否有一点划痕､证明是否接触过；
6、确保针尖与被测点接触良好后､可通过连接测试设备开始测试｡
