探针台 ￨ 百科

真空探针台设备组成￤

探针台￤设备主体；

控制器￤PID温度控制器；

真空维持系统￤真空泵；

液氮罐￤降温系统；

电脑主机￤测试监控；

探针台设备原理￤

是由液氮和加热棒共同作用实现样品台温度在-196--400℃范围内连续变化的装置;

并搭载可调节的探针､能够在良好的温度梯度和稳定性的温度场下､连接样品和客户检测设备;

可实现在低温下或变温下电学､热学､光学等性能测试｡

真空探针台设备参数￤

外形尺寸￤长650mm*宽650mm*高1300mm；

温度范围￤-196~400℃（环境温度）；

制冷加热方式￤液氮制冷､电阻加热；

样品台尺寸￤≤φ100mm；

有效高度￤40mm；

探针台真空度￤机械泵≤10Pa､分子泵≤5.0 e-3Pa；

探针台设备气路￤1-2路；

温度传感器￤PT100；

控温方式￤PID线型调节；

控温精度￤±0.1℃；

最大升温速率￤80℃/min（RT到100℃）；

最大降温速率￤50℃/min（RT到-100℃）；

XYZ轴行程￤50mm*50mm*10mm；

探针结构￤外置探针臂､真空波纹管结构；

移动精度￤0.01mm；

线缆￤同轴线/射频线；

探针类型￤钨探针（类型可选）；

接头类型￤BNC/鳄鱼夹/接线端子｡

探针台设备用途￤

探针台设备主要为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台｡探针平台可以吸附多种规格的芯片､并提供多种可调测试针和探针座｡集成电路的电压､电流､电阻和电容电压特性曲线可以通过测量仪器完成｡适用于芯片的科研分析､抽查和测试｡

探针台主要用于测试半导体行业､光电行业､集成电路和封装｡广泛应用于R&D复杂高速器件的精密电气测量､旨在保证质量和可靠性､降低R&D时间和器件制造工艺的成本｡

探针台在操作上有￤手动､半自动､全自动､从功能上来说，探针台涵盖:温控探针台､真空探针台(超低温探针台)､RF探针台､LCD平板探针台､霍尔效应探针台､表面电阻探针台｡

探针台设备使用方法￤

以手动探针台为例､探针台的使用方法如下￤

1、将样品载入真空卡盘､打开真空阀控制开关､使样品安全牢固地吸附在卡盘上；

2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台､在显微镜低倍物镜的焦点下清楚地看到样品；

3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台､将样品放置测试点移至显微镜下；

4.显微镜切换为高倍率物镜､在高倍率下找到待测点､然后微调显微镜聚焦和样品x-y､将图像调整清晰､等待测点位于显微镜视场中心；

5.确认测点位置后､调整探针座位置｡安装探针后､可以将探针移到接近待测点的位置､然后使用探针座X-Y-Z的三个微调旋钮慢慢地将探针移动到被测点。这时候要小心､慢慢移动､防止芯片误伤｡当探针针的尖端悬挂在被测点上方时､探针可以先用Y轴旋钮稍微后退一点､然后用Z轴旋钮下针｡最后用X轴旋钮左右滑动､观察是否有一点划痕､证明是否接触过；

6、确保针尖与被测点接触良好后､可通过连接测试设备开始测试｡

探针台特点￤

1､U型平台､最多可以放置8个针座；

2､真空吸附､配置3个真空开关､可根据样品尺寸选择开关单独控制样品台可 360°旋转､粗调快速旋转带锁死､微调0.1°;探针座带快速倾仰调节支架；

3､按需升级､适配场景丰富;体积小巧､操作方便､性价比高；

4､适用于六寸及以下圆片､碎片等；

5､广泛应用在各研究所､高校､实验室等；