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高低温探针台HCP-1C
产品描述:
高低温探针台HCP-1C、温度范围:-196~400℃、为小尺寸样品测量电特性、提供高精度可控的测量环境、帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。可以实现基础测试、保护气氛电路测试、高低温真空探针台、超高频探针台、光电流分析、FA失效分析等测量和分析平台。■高低温探针台HCP-1C产品特点:
● 产品功能:高低温探针台为小尺寸样品测量电特性,提供高精度可控的测量环境;
● 使用范围:帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。
● 应用领域:提供材料/器件的IV/CV特性测试,LD/LED/PD的光强/波长测试,射频特性器件失效分析,芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案;
● 定制服务:定制样品台和测量方式;
● 自动控温:PID自整定连续多点控温。
■高低温探针台设备HCP-1C技术参数:
● 外形尺寸:长650mm*宽650mm*高1300mm;
● 温度范围:-196~400℃(环境温度);
● 制冷加热方式:液氮制冷,电阻加热;
● 样品台尺寸:≤φ100mm;
● 有效高度:40mm;
● 真空度:机械泵≤10Pa,分子泵≤5.0 e-3Pa;
● 气路:1-2路;
● 温度传感器:PT100;
● 控温方式:PID线型调节;
● 控温精度:±0.1℃;
● 最大升温速率:80℃/min(RT到100℃);
● 最大降温速率:50℃/min(RT到-100℃);
● XYZ轴行程:50mm*50mm*10mm;
● 探针结构:外置探针臂,真空波纹管结构;
● 移动精度:0.01mm;
● 线缆:同轴线/射频线;
● 探针类型:钨探针(类型可选);
● 接头类型:BNC/鳄鱼夹/接线端子。
高低温探针台应用
● 提供材料/器件的IV/CV特性测试;
● LD/LED/PD的光强/波长测试;
● 射频特性器件失效分析;
● 芯片内部线路/电极/PAD测试。
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